我們知道，精度對于高精密檢測儀器來說就是生命，是最能體現其價值的所在 。而高精密檢測儀器的至尊——三坐標測量儀，對于精度的要求更是近乎茍刻。
怎樣提高三次元測量儀的測量精度，一直都是測量行業以及使用人員不斷追求的目標。對三坐標測量儀精度的提高，就是降低三坐標使用中的誤差，作為誤差的一種，平面度誤差對三坐標的精度有著很大的影響。了解三坐標測量儀的平面度誤差的評定方法，以此來采取爭取的方法提高三次元的精度，是行之有效的方法。那么，對三坐標測量機的平面度誤差的評定，都有哪些方法呢？下面就介紹一下。　　
三坐標測量儀平面度評定的方法，主要有以下四種：　　
1、對角線法：是以通過實際被測表面上的一條對角線，且平行于另一條對角線所做的評定基準面，一平行于此基準面且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。　
2、三坐標測量儀三元點法：是以通過實際被測表面上想聚最遠的三點所組成的平面最為評定基準面，以平行于此基準面，且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。　　
3、最小區域法：是以包容實際被測表面的最小包容區域的寬度作為平面度誤差值和平面度誤差定義的評定方法。　　
4、三坐標測量儀最小二乘法：是以實際被測表面的最小二乘平面最為評定基準面，以平行于最小二乘平面，且具有最小距離的兩包容平面的距離作為平面度誤差值。使三坐標測量儀被測物體表面上各點與該平面的距離的平方和為最小的平面。此法計算較為復雜，一般均計算機處理。　　
三坐標測量機平面度誤差只是眾多三坐標測量機誤差的一種，對三坐標測量機誤差了解越詳細， 對于我們提高三坐標測量儀的精度就越有幫助。因些，不管是三次元的研發人員還是操作人員，都有必要對其相關知識進行深入了解。